LST-121體積表面電阻率測(cè)試儀參數(shù)及使用方法介紹

北京中航鼎力儀器設(shè)備有限公司制造

一、概述 

LST-121體積表面電阻率測(cè)試儀器既可測(cè)量超高電阻，又可測(cè)極微弱電流。采用了大規(guī)模集成電路以及的技 術(shù)，使儀器體積小、重量輕、準(zhǔn)確度高。以數(shù)字液晶顯示電阻并同時(shí)直接顯示流過(guò)被測(cè)電阻的電流。電阻量程從1×10⁴Ω ～1×10¹⁸Ω， 電流測(cè)量范圍 為2 ×10^-4A ～1 ×10^-16A。機(jī)內(nèi)測(cè)試電壓為DC10V、50V、100V、250V、500V、1000V。

LST-121體積表面電阻率測(cè)試儀器具有精度高、顯示迅速、穩(wěn)定性好、讀數(shù)方便, 適用于防靜電產(chǎn)品 如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計(jì)算機(jī)房防靜電活動(dòng)地板等電阻值的檢驗(yàn)以及絕緣材料和電子電器產(chǎn)品的絕緣電阻測(cè)量。本儀器除能測(cè)電阻外，還能直接測(cè)量電流如電子器件暗電流等。

二、主要特點(diǎn)

電阻測(cè)量范圍 1×10⁴Ω ～1×10¹⁸ Ω；

電流測(cè)量范圍 2×10^-4Ａ ～1×10^-16Ａ；

體積小、重量輕、準(zhǔn)確度高；

*的被測(cè)電阻、和流過(guò)電阻的電流雙顯示，使操作測(cè)量更加方便；

性能穩(wěn)定、讀數(shù)方便；

既能測(cè)電阻又能測(cè)電流；

測(cè)試電壓有六種選擇DC10V、50V、100V、250V、500V、1000V；

使用操作簡(jiǎn)便，在任何電阻量程和測(cè)試電壓下均直接讀顯示數(shù)字結(jié)果，免去要乘以一個(gè)系數(shù)的麻煩，使測(cè)量超高電阻就如用萬(wàn)用表測(cè)量普通電阻樣簡(jiǎn)便。

三、主要應(yīng)用范圍

材料高阻測(cè)試測(cè)量如防靜電產(chǎn)品（防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計(jì)算機(jī)房防靜電活動(dòng)地板等）電阻值的檢測(cè)；

材料體電阻(率)和表面電阻(率)測(cè)量；

電化學(xué)和材料測(cè)試,以及物理,光學(xué)和材料研究;

微弱電流測(cè)量如光電效應(yīng)和器件暗電流測(cè)量。     

四、技術(shù)指標(biāo) 

1.電阻測(cè)量范圍： 1×104Ω ～1×1018Ω，分為十個(gè)量程。

2.電流測(cè)量范圍為2×10-4A ～1×10-16A

3.全數(shù)字液晶屏顯示。

4.準(zhǔn)確度: 準(zhǔn)確度優(yōu)于下表

量程 有效顯示范圍 20～30℃ RH<80%

10⁴0.01~19.99 5%

10⁵0.01～19.99 5%

10⁶0.01～19.99 5%

10⁷0.01～19.99 5%

10⁸0.01～19.99 5%

10⁹0.01～19.99 5%

10¹⁰0.01～19.99 5%+2字

10¹¹0.01～19.99 5%+2字

10¹²0.01～19.99 5%+5字

10¹³0.01～19.99 10%+5字

10¹⁴0.01～19.99 10%+5字

10¹⁴以上0.01～19.99 10-15%+5字

超出有效顯示范圍時(shí)誤差有可能增加，測(cè)試電流準(zhǔn)確度與電阻相同，測(cè)試電壓準(zhǔn)確度為 10%

5. 使用環(huán)境: 溫度 -10℃～50℃ 相對(duì)濕度<90%。

6. 測(cè)試電壓: DC10V、50V、100V、250V、500V、1000V。±10%

7. 供電形式: AC220V，50HZ，功耗約10W。

8. 儀器尺寸: 300ｍｍ× 280ｍｍ× 150 mm。

9. 質(zhì)量: 約3.0KG。

五、工作原理  

根據(jù)歐姆定律，被測(cè)電阻R等于施加電壓V除以通過(guò)的電流I。即   

V

R= ---

I

傳統(tǒng)的儀器的工作原理是測(cè)量電壓V固定，通過(guò)測(cè)量流過(guò)被測(cè)物體的電流I以標(biāo)定電阻的刻度來(lái)讀出電阻值。從上式可以看出，由于電流I是與電阻成反比，而不是成正比，所以電阻的顯示值是非線性的，即電阻無(wú)窮大時(shí)，電流為零，即表頭的零位處是∞，其附近的刻度非常密，分辨率很低。整個(gè)刻度是非線性的。又由于測(cè)量不同的電阻時(shí)，其電壓V也會(huì)有些變化，所以普通的高阻計(jì)的精度是很難提高的。

ZST-121體積、表面電阻率測(cè)定儀是同時(shí)測(cè)出電阻兩端的電壓V和流過(guò)電阻的電流I，通過(guò)內(nèi)部的大規(guī)模集成電路完成電壓除以電流的計(jì)算，然后把所得到的結(jié)果經(jīng)過(guò)A/D轉(zhuǎn)換后以數(shù)字顯示出電阻值，即便是電阻兩端的電壓V和流過(guò)電阻的電流I是同時(shí)變化，其顯示的電阻值不象普通高阻計(jì)那樣因被測(cè)電壓V的變化或電流Ｉ的變化而變，所以, 即使測(cè)量電壓、被測(cè)量電阻、電源電壓等發(fā)生變化對(duì)其結(jié)果影響不大，其測(cè)量精度很高。從理論上講其誤差可以做到零。而實(shí)際誤差可以做到千分之幾或萬(wàn)分之幾。

六、使用方法

6.1接好電源線 

確保電源為220VAC/50Hz

6.2接通電源 

將電流電阻量程置于 104 檔,電壓量程置于10V，然后開(kāi)機(jī)。

6.3調(diào)零 

在“Rx”兩端開(kāi)路的情況下,調(diào)零使電流表的顯示為0000 .注意：在“Rx”兩端不開(kāi)路，如接在電阻箱或被測(cè)量物體上時(shí)調(diào)零后測(cè)量會(huì)產(chǎn)生很大的誤差。一般一次調(diào)零后在測(cè)試過(guò)程中不需再調(diào)零。 完畢后關(guān)機(jī)。

6.4連接線路 

接好測(cè)試線，將測(cè)試線將主機(jī)與屏蔽箱連接好，測(cè)體積電阻時(shí)測(cè)試按鈕撥到Rv邊，測(cè)表面電阻時(shí)測(cè)試按鈕撥到Rs邊。然后開(kāi)機(jī)。

6.5選擇合適的測(cè)量電壓 

電壓選擇開(kāi)關(guān)在后面板，注意，在測(cè)試過(guò)程中不要隨意改動(dòng)測(cè)量電壓，可能因電壓的過(guò)高或電流過(guò)大損壞被測(cè)試器件或測(cè)試儀器;

6.6測(cè)試 

測(cè)量時(shí)從低檔位逐漸拔往，每撥一次稍停留1～2秒以使觀察顯示數(shù)字， 當(dāng)被測(cè)電阻大于儀器測(cè)量量程時(shí)，電阻表顯示“1”，此時(shí)應(yīng)繼續(xù)將儀器撥到量程更高的位置，當(dāng)測(cè)量?jī)x器有顯示值時(shí)應(yīng)停下，當(dāng)前的數(shù)字乘以檔次即是被測(cè)電阻值。當(dāng)有顯示數(shù)字時(shí)不要再往更高次檔撥，否測(cè)儀器會(huì)過(guò)量程，機(jī)內(nèi)保護(hù)電路開(kāi)始工作，儀器測(cè)量準(zhǔn)確度會(huì)下降。

6.7 測(cè)試完畢將電阻電流量程拔至“104 ”檔，電壓量程調(diào)至10V后關(guān)閉電源

每測(cè)量一次均應(yīng)將量程開(kāi)關(guān)撥回到104“調(diào)零”檔的量程位置以免開(kāi)機(jī)或測(cè)量端短路時(shí)而損壞儀器。6.8 測(cè)量電流及1015Ω以上超高電阻的測(cè)量應(yīng)用測(cè)量電流后用歐姆定律以電壓除以電流計(jì)算電阻的方法，詳見(jiàn)8.5節(jié)內(nèi)容。

6.8體積電阻和表面電阻轉(zhuǎn)換

在測(cè)試過(guò)程中，使用屏蔽箱在進(jìn)行體積電阻和表面電阻轉(zhuǎn)換時(shí)，必須把電源關(guān)閉后進(jìn)行檔位轉(zhuǎn)換，否則會(huì)導(dǎo)致電壓沖擊到主機(jī)無(wú)法顯示或損壞。

七、使用注意事項(xiàng)

高阻測(cè)量一定要嚴(yán)格按使用方法步聚進(jìn)行，否則有可能造成儀器損壞或電人。

7.1 應(yīng)在“Rx”兩端開(kāi)路時(shí)調(diào)零（主機(jī)開(kāi)機(jī)）

如接在電阻箱或被測(cè)量物體上時(shí)調(diào)零后測(cè)量會(huì)產(chǎn)生很大的誤差。一般一次調(diào)零后在測(cè)試過(guò)程中不需再調(diào)零，但改變測(cè)量電壓后可能要重新調(diào)零。

7.2 禁止將“Rx”兩端短路，以免微電流放大器受大電流沖擊

7.3 在測(cè)試過(guò)程中不要隨意改動(dòng)測(cè)量電壓，

隨意改動(dòng)測(cè)量電壓可能因電壓的過(guò)高或電流過(guò)大損壞被測(cè)試器件或測(cè)試儀器，而且有的材料是非線性的，即電壓與電流是不符合歐姆定律，有改變電壓時(shí)由于電流不是線性變化，所以測(cè)量的電阻也會(huì)變化。

7.4 測(cè)量時(shí)從低次檔逐漸拔往高次檔

每撥一次稍停留1～2秒以便觀察顯示數(shù)字，當(dāng)有顯示值時(shí)應(yīng)停下，記錄當(dāng)前的數(shù)字即是被測(cè)電阻值。若顯示“1”時(shí)，表示欠量程應(yīng)往高次檔拔。直到有顯示數(shù)字時(shí)為止。當(dāng)有顯示數(shù)字時(shí)不能再往高次檔撥，否則有可能損壞儀器(機(jī)內(nèi)有過(guò)電流保護(hù)電路)。除104 Ω檔之外，當(dāng)顯示低于1.99，表示過(guò)量程應(yīng)換低檔!

7.5 大部分絕緣材料，特別是防靜電材料的電阻值在加電壓后會(huì)有一定變化而引起數(shù)字變化

由于本儀器的分辯率很高，因而會(huì)引起顯示值的末尾幾位數(shù)也變化，這不是儀器本身的問(wèn)題，而是被測(cè)量對(duì)象的導(dǎo)電機(jī)理復(fù)雜而使得阻值有些變化。在這種情況下往往取2位有效數(shù)就夠了。

7.6 接通電源后，手指不能觸及高壓線的金屬部分 

本儀表有二連根線:高壓線(紅)和微電流測(cè)試線。在使用時(shí)要注意高壓線，開(kāi)機(jī)后人不能觸及高壓線，以免電人或麻手。

7.7 測(cè)試過(guò)程中不能觸摸微電流測(cè)試端 

微電流測(cè)試端怕受到大電流或人體感應(yīng)電壓及靜電的沖擊。所以在開(kāi)機(jī)后和測(cè)試過(guò)程中不能與微電流測(cè)試端接觸，以免損壞儀表。

7.8 在測(cè)量高阻時(shí)，應(yīng)采用屏蔽盒將被測(cè)物體屏蔽.

在測(cè)量大于1010 Ω以上時(shí)，為防止外界干擾面而引起讀數(shù)不穩(wěn)。

7.9 每次測(cè)量完時(shí)應(yīng)將量程開(kāi)關(guān)撥回“104 ”檔再進(jìn)行下次測(cè)試

在測(cè)量時(shí)應(yīng)逐漸將量程開(kāi)關(guān)撥到高阻檔，測(cè)量完時(shí)應(yīng)將電流電阻量程、電壓量程開(kāi)關(guān)撥回低檔。以 確保下次開(kāi)機(jī)時(shí)量程開(kāi)關(guān)處在低阻量程檔。

八、典型應(yīng)用

8.1 測(cè)量防靜電鞋、導(dǎo)電鞋的電阻值

按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB4386-84《防靜電膠底鞋（靴）、導(dǎo)電膠底鞋（靴）電阻值測(cè)量方法》防靜電鞋的電阻值必須為0.5.×105Ω1.0×108Ω范圍內(nèi)，導(dǎo)電鞋的電阻值必須不大于1.5X105歐姆.不僅制造廠在出廠時(shí)必須按這一標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)，合格后才能出廠，在工廠使用過(guò)程中也必須按這一標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行定期檢驗(yàn)，合格后才能穿用。    

制造廠測(cè)量新鞋的電阻值時(shí)，應(yīng)將硫化后有新鞋放置24小時(shí)以上，然后在測(cè)量所要求的溫度、濕度環(huán)境中放置2小時(shí)以后才能進(jìn)行測(cè)量。使用單位在定期檢測(cè)時(shí)應(yīng)將鞋洗干凈，其溫濕度的要求及放置時(shí)間同上。測(cè)量環(huán)境要求為：溫度：10℃ ～ 40℃相對(duì)濕度為40% ～ 70%。 由于HEST121型數(shù)字表面、體積電阻率測(cè)定儀是內(nèi)部同時(shí)測(cè)量電壓和電流，且直接顯示出電阻值，所以不必另外使用電壓表和電流表以及計(jì)算電阻值。

通常測(cè)試防靜電鞋只用106、107、108Ω檔，測(cè)試完畢將開(kāi)關(guān)撥回104檔。 根據(jù)上述測(cè)試的結(jié)果，根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)來(lái)確定被測(cè)鞋是否合格或能否穿用。     

8.2. 測(cè)量防靜電材料的電阻及電阻率

一般防靜電材料的電阻值在105 Ω～1010 Ω左右的范圍內(nèi)，其測(cè)量電極可采用三電極或二電極，其具體測(cè)量方法可參照有關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)或有關(guān)資料。

8.3. 測(cè)量計(jì)算機(jī)房用活動(dòng)地板的系統(tǒng)電阻值 

按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)ＧＢ6650-86《計(jì)算機(jī)房用活動(dòng)地板技術(shù)條件》。采用該標(biāo)準(zhǔn)的電極（也可用三電極中的主電極）測(cè)量。

8.4. 測(cè)量絕緣材料電阻(率) 

絕緣材料如塑料（聚乙稀，聚氯乙稀，尼龍等）橡膠等的電阻率很高，測(cè)量時(shí)應(yīng)采取屏蔽措施，以免讀數(shù)不穩(wěn)甚至無(wú)法測(cè)量。測(cè)量時(shí)可采用三電極。具體方法可參照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB1410。

8.5. 測(cè)量電流及1014Ω以上超高電阻的測(cè)量

當(dāng)測(cè)量超過(guò)1014Ω以上的超高電阻時(shí),可以通過(guò)測(cè)量電流的方法,然后用歐姆

定律求出超高電阻值。測(cè)量電流與測(cè)量電阻的方法基本相同，  

例如：電流表頭顯示讀數(shù)為1.234，量程位置處在10－8，則電流為 I=1.234×10-8  A

利用歐姆定律

V

R= ---

I

可以計(jì)算出電阻值。利用測(cè)量電流的方法可測(cè)量超過(guò)1014Ω以上的超高電阻1015～1018Ω。

九、儀器測(cè)量常見(jiàn)問(wèn)題

9.1 為什么在測(cè)量同一物體時(shí)用不同的電阻量程有不同的讀數(shù)？ 

這是因?yàn)闇y(cè)量電阻時(shí)為防止過(guò)電壓損壞儀器，如果出現(xiàn)過(guò)量程時(shí)儀器內(nèi)保護(hù)電路開(kāi)始工作，將測(cè)試電壓降下來(lái)以保護(hù)機(jī)內(nèi)放大器。在不同的電壓下測(cè)量同一物體會(huì)有不同的結(jié)果。而且當(dāng)測(cè)量電阻時(shí)若讀數(shù)小于199，既只為三位數(shù)且位數(shù)為1 時(shí)，其準(zhǔn)確度要下降。所以在測(cè)量電阻時(shí)當(dāng)次讀數(shù)從1 變?yōu)槟骋蛔x數(shù)時(shí)，不應(yīng)再往更高的量程扭開(kāi)關(guān)以防對(duì)儀器造成過(guò)大的電流沖擊。在實(shí)際使用時(shí)，即讀數(shù)位數(shù)多的比讀數(shù)位數(shù)少的準(zhǔn)確度高。

9.2為什么測(cè)量一些物體的電流時(shí)用不同的量程也會(huì)出現(xiàn)測(cè)出結(jié)果相差較大？ 

這是因?yàn)橐话阄矬w輸出的電流不是恒定流，而儀器有一定內(nèi)阻，若在儀器上所選量程的內(nèi)阻過(guò)大以至于在儀器上的電壓降影響被測(cè)物體的輸出電流時(shí)會(huì)造成測(cè)量誤差。一般電流越小的量程內(nèi)阻越高，所以在測(cè)量電流時(shí)應(yīng)選用電流大的量程。在實(shí)際使用時(shí)即只要電流表有讀數(shù)時(shí)，讀數(shù)位數(shù)少的小的比讀數(shù)位數(shù)多的準(zhǔn)確度高。

9.3為什么測(cè)量時(shí)儀器的讀數(shù)總是不穩(wěn)？

一般的材料其導(dǎo)電性不是嚴(yán)格像標(biāo)準(zhǔn)電阻樣在一定的電壓下有很穩(wěn)定的電流，有很多材料特別是防靜電材料其導(dǎo)電性不符合歐姆定律，所以在測(cè)量時(shí)其讀數(shù)不穩(wěn)。

這不是儀器的問(wèn)題，而是被測(cè)量物體的性能決定的。有的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定以測(cè)量1分鐘時(shí)間的讀數(shù)為準(zhǔn)。通常在測(cè)量高電阻或微電流時(shí)測(cè)量準(zhǔn)確度因重復(fù)性不好，對(duì)測(cè)量讀數(shù)只要求2位或3位。另外在測(cè)量大電阻時(shí)如果屏蔽不好也會(huì)因外界的電磁信號(hào)對(duì)儀器測(cè)量結(jié)果造成讀數(shù)不穩(wěn)。

9.4為什么測(cè)量完畢時(shí)一定要將量程開(kāi)關(guān)再撥到104檔后才能關(guān)電源？

這是因?yàn)樵跍y(cè)量時(shí)被測(cè)物體及儀器輸入端都有一定的電容，這個(gè)電容在測(cè)量時(shí)已被充電到測(cè)量電時(shí)的電壓值，如果儀器不撥到104擋后關(guān)電源這個(gè)充電后的電容器會(huì)對(duì)儀器內(nèi)的放大器放電而造成儀器損壞。當(dāng)被測(cè)量物體電容越大，測(cè)試電壓越高時(shí)，電容器所儲(chǔ)藏的電能越大，更容易損壞儀器，特別是在電阻的高量程或電流的低量程時(shí)因儀器非常靈敏，儀器過(guò)載而損壞的可能性更大。所以一定要將量程開(kāi)關(guān)再撥到104擋后才能關(guān)電源。

9.5 為什么在測(cè)量電阻過(guò)程中不要改變對(duì)被測(cè)物的測(cè)試電壓？

在測(cè)量電阻過(guò)程中如果改變對(duì)被測(cè)物的測(cè)試電壓，無(wú)論電壓變高或變低時(shí)都將會(huì)產(chǎn)生大脈沖電流，這個(gè)大的電流很有可能使儀器過(guò)量程甚至更損壞儀器。另一方面如果電壓突然變化也會(huì)通過(guò)被測(cè)量物體的（分布）電容放電或反向放電對(duì)測(cè)量?jī)x器造成沖擊而損壞儀器。有的物體的耐壓較低，當(dāng)您改變測(cè)量電壓時(shí)有右能擊穿而產(chǎn)生大電流損壞儀器。如果要改變測(cè)量電壓，在確保被測(cè)量物體不會(huì)因電壓過(guò)高擊穿時(shí)，要先將量程開(kāi)關(guān)撥到104檔后關(guān)閉電源，再?gòu)膬x器后面板調(diào)整到所要求的電壓。有的材料是非線性的，即電壓與電流是不符合歐姆定律，有改變電壓時(shí)由于電流不是線性變化，所以測(cè)量的電阻也會(huì)變化。

9.6為什么測(cè)量完畢要將電壓量程開(kāi)關(guān)再撥到10V檔后關(guān)閉電源？

這是因?yàn)闄C(jī)內(nèi)的電容器充有很高的電壓（高電壓達(dá)1200V以上），這些電容器的所帶的電能保持較長(zhǎng)的時(shí)間，如果將電壓量程開(kāi)關(guān)再撥到10V檔后關(guān)閉電源，則會(huì)將機(jī)內(nèi)的高壓電容器很快放電，不會(huì)在測(cè)量的高壓端留有很危險(xiǎn)的電壓造成電擊。如果僅撥電源線而不是將電壓調(diào)至10V檔，雖然斷了電源，但機(jī)內(nèi)高壓電容器還有會(huì)因長(zhǎng)時(shí)間保持很高的電壓，將會(huì)對(duì)人員或其它物體造成電擊或損壞。在儀器有問(wèn)題時(shí)也不要隨便打開(kāi)機(jī)箱因機(jī)內(nèi)高壓造成電擊，要將儀器找專業(yè)技術(shù)人員或寄回廠家修理。

十、體積電阻率于表面電阻率計(jì)算

10.1 體積電阻與表面電阻讀數(shù)取值

體積電阻：

按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB1410標(biāo)準(zhǔn)中第11.1說(shuō)明規(guī)定：在試樣表面加上規(guī)定的直流電壓后開(kāi)始計(jì)時(shí)，并在如下每個(gè)電化時(shí)間做一次測(cè)量：1 min、2 min、5 min、10 min、50 min、100 min.如果兩次連續(xù)測(cè)量得出同樣的結(jié)果，則可以結(jié)束試驗(yàn)并用這個(gè)電流值來(lái)計(jì)算體積電阻。作為驗(yàn)收試驗(yàn)，按照有關(guān)規(guī)范的規(guī)定，使用一個(gè)固定的電化時(shí)間如1MIN后的電流值來(lái)計(jì)算體積電阻率。

表面電阻：

按照GB1410標(biāo)準(zhǔn)11.2中規(guī)定：應(yīng)在1MIN的電化時(shí)間后測(cè)量電阻，即使在此時(shí)間內(nèi)電流還沒(méi)有達(dá)到穩(wěn)定的狀態(tài)。

10.2 體積電阻率計(jì)算：

體積電阻率計(jì)算公式如下：

式中：PV——體積電阻率，單位為歐姆厘米（Ω.cm）；

RX——按測(cè)得的體積電阻，單位為歐姆（Ω）；

A——是被保護(hù)電極的有效面積，單位為平方米（m2）或（平方厘米（cm2））

h——試樣的平均厚度，單位為米(m)或厘米（cm）

備注：A=19.635（cm2）

10.3 表面電阻率計(jì)算：

表面電阻率計(jì)算公式如下：

式中：Ps——體積電阻率，單位為歐姆米（Ω.cm）；

RX——按測(cè)得的表電阻，單位為歐姆（Ω）；

P——是被保護(hù)電極的有效周長(zhǎng)，單位為米（m）或（厘米（cm））

g——兩電極之間的距離，單位為米(m)或厘米（cm）

備注：P=15.708(cm) g=0.2(cm)

十一、三電極接線說(shuō)明

測(cè)量電阻可用二電極，一個(gè)接高壓電極，另一個(gè)接電流電極就行了，儀器的地線用于屏蔽用，在測(cè)量高電阻時(shí)要與屏蔽箱的地相接以防干擾。測(cè)量低電阻時(shí) 可以不用。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) GB1410《 固體絕緣材料絕緣體積電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方 法》中推薦一種三電極測(cè)量方法：

它是由三個(gè)獨(dú)立的電極組成:

1.中心為圓柱體,直徑為50mm, 標(biāo)準(zhǔn)中沒(méi)有規(guī)定高度，但一般是40mm

2.圓柱體外為一圓環(huán),圓環(huán)內(nèi)徑為60mm,外徑為80mm, 標(biāo)準(zhǔn)中沒(méi)有規(guī)定高度，但一般是40mm

3.底為一平板, 直徑為100mm的圓板. 標(biāo)準(zhǔn)中沒(méi)有規(guī)定厚度，但一般為5mm

如果使用這種三電極測(cè)量材料表面電阻或體積電阻，可以按下圖接線：

4.測(cè)表面電阻：（電流流過(guò)被測(cè)量物體表面時(shí)測(cè)得的電阻）

儀器高壓輸出（紅）接圓環(huán)電極

儀器電流輸入端（芯線）接圓柱電極

儀器地（黑，屏蔽線）接圓盤電極

5.測(cè)體積電阻：（電流流過(guò)被測(cè)量物體體內(nèi)時(shí)測(cè)得的電阻）

儀器高壓輸出（紅）接圓盤電極

儀器電流輸入端（芯線）接圓柱電極

儀器地（黑，屏蔽線）接圓環(huán)電極

請(qǐng)將被測(cè)量材料放在圓盤電極上面，并且圓柱電極放在圓環(huán)電極的中間，先將屏蔽箱上的開(kāi)關(guān)撥在中間0位置時(shí)，此時(shí)沒(méi)有高壓輸出，將屏蔽箱蓋好，然后再與儀器接線。

如果開(kāi)關(guān)是在左邊的Rv位置時(shí)，測(cè)量的是體積電阻Rv，此時(shí)電壓加在底下的圓盤電極上，電流從圓盤電極經(jīng)被測(cè)量材料體內(nèi)流到柱電極。

如果開(kāi)關(guān)是在右邊的Rs位置時(shí)，測(cè)量的是表面電阻Rs，此時(shí)圓環(huán)電極改變?yōu)殡妷?，圓盤電極為接線，電流從圓環(huán)電極經(jīng)材料表面流到圓柱電極。